材料 先端配線用低抵抗金属(Ru・Mo・W)〜2nm以降のBEOL微細配線材料の最前線
2nm以降の先端半導体では、銅配線に代わるRu(ルテニウム)・Mo(モリブデン)・W(タングステン)などの低抵抗金属配線材料が台頭しています。最新動向をエンジニア視点で解説します。
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