装置構成部材

半導体製造装置の金属加工部品〜アルミ・SUS・チタンの使い分けと表面処理半導体製造装置は、真空環境・腐食性ガス・高温プロセスといった極めて過酷な条件下で動作します。そのため、装置を構成する金属加工部品の材質選定は、装置の性能・寿命・歩留まり...