装置構成部材

ケミカルフィルター〜AMC対策と装置内空気清浄化の技術半導体デバイスの微細化が進むにつれ、製造環境における化学汚染物質（AMC：Airborne Molecular Contamination）の管理はますます重要な課題となっています。パー...

サセプター・ヒーター〜CVD・ALD装置の均熱設計と材料選定CVD（化学気相堆積）やALD（原子層堆積）装置において、ウェーハを均一に加熱するサセプターおよびヒーターは、成膜品質を左右する最重要コンポーネントのひとつです。温度分布のわずかな...

シャワーヘッド（ガス分散板）〜CVD装置のガス均一供給の仕組みCVD（化学気相堆積）装置において、成膜品質を左右する最重要部品のひとつがシャワーヘッド（ガス分散板）である。ウェーハ全面に均一な薄膜を形成するためには、反応ガスを空間的・時間的...

エッチングチャンバー内壁部材〜プラズマ耐性材料の選び方半導体製造プロセスにおいて、エッチング装置のチャンバー内壁部材は、製品品質と装置稼働率を左右する極めて重要なコンポーネントです。プラズマエッチング工程では、ハロゲン系ガス（フッ素・塩素系...

ウェハ搬送ロボット〜エンドエフェクタの材質と設計ポイント半導体製造プロセスにおいて、ウェハ搬送ロボットは工程間の自動化を支える中核技術である。中でも、ウェハと直接接触するエンドエフェクタ（ウェハハンド・ブレード）は、装置の歩留まりや信頼性を...

スピンチャック〜枚葉洗浄・塗布装置の基本構成部品スピンチャックは、半導体ウェーハを高速回転させながら薬液洗浄やフォトレジスト塗布を行う枚葉式装置において、ウェーハを保持・回転させるための中核部品である。装置の処理品質・歩留まりを左右する重要...