半導体・電子デバイス製造装置メーカー一覧【国内主要企業2025年版】

本記事では、日本国内の主要な半導体・電子デバイス製造装置メーカーを一覧形式でまとめています。露光装置・成膜装置・洗浄装置・検査装置・テスト装置など、製造プロセスの各工程を支えるメーカーを幅広く掲載しています。社名変更・統合・分社化などの最新情報も随時反映しています。

日本は半導体製造装置の分野において世界トップクラスのシェアを誇ります。経済産業省の資料によれば、世界の半導体製造装置市場における日本メーカーのシェアは約30%に達しており、東京エレクトロンやSCREENホールディングス、アドバンテストなどは世界的にも高い競争力を持つ企業として知られています。国内外の半導体需要が高まる中、これらのメーカーの重要性はますます増しています。

目次
半導体製造装置とは
国内主要企業の概要
メーカー一覧（五十音順）
装置カテゴリ別主な対応メーカー
よくある質問（FAQ）

半導体製造装置とは

半導体製造装置とは、シリコンウェーハなどの基板上に回路を形成し、半導体チップを製造するために使用される専用機器の総称です。半導体の製造プロセスは数百にのぼる工程から成り立っており、それぞれの工程に対応した専用装置が必要となります。

主な製造装置の種類には以下のものがあります。

露光装置（リソグラフィ装置）：回路パターンをウェーハに焼き付ける装置。微細化の要となる。
CVD装置・ALD装置：薄膜を堆積させる成膜装置。
エッチング装置：不要な膜を選択的に除去する装置。
CMP装置：ウェーハ表面を化学機械研磨で平坦化する装置。
洗浄装置：製造工程間でウェーハを洗浄する装置。
イオン注入装置：半導体に不純物を注入して電気特性を制御する装置。
検査・計測装置：製造途中・完成後のウェーハや回路を検査する装置。
テスト装置（テスタ）：完成した半導体チップの動作を検証する装置。
ダイシング・ボンディング装置：チップの切断・実装に使用する後工程装置。

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国内主要企業の概要

以下では、特に市場規模・知名度・技術的影響力の大きい代表的な国内メーカーを紹介します。

東京エレクトロン株式会社（TEL）

国内最大手の半導体製造装置メーカーであり、世界シェアでも上位に位置します。エッチング装置、CVD装置、コーター／デベロッパー（塗布・現像装置）、洗浄装置など幅広い製品ラインナップを持ちます。Applied Materials（米）やASMLに並ぶ世界トップクラスの装置メーカーとして、グローバルに事業を展開しています。

株式会社ニコン

カメラや光学機器で著名なニコンですが、半導体露光装置（ステッパー・スキャナー）の分野でも国際的に高いシェアを持ちます。ArFスキャナーをはじめとする先端露光装置を手がけており、ASML（オランダ）やキヤノンと並ぶ露光装置の主要サプライヤーです。

キヤノン株式会社

ニコンと同様、半導体露光装置市場に参入しているカメラ・光学機器メーカーです。近年はナノインプリントリソグラフィ（NIL）技術を用いた次世代露光装置の開発にも注力しており、注目を集めています。

SCREENホールディングス株式会社

ウェーハ洗浄装置の世界最大手メーカーです。枚葉式洗浄装置においては世界トップシェアを誇り、先端プロセスを手がける主要半導体メーカーに装置を供給しています。

株式会社アドバンテスト

半導体テスト装置（テスタ）の世界最大手の一角を担うメーカーです。メモリ・ロジック・SoC向けのテスタを幅広く手がけており、AI・HPC向け半導体需要の拡大を背景に業績を伸ばしています。

株式会社ディスコ

半導体ウェーハのダイシング（切断）装置・研削装置において世界トップシェアを持つ企業です。後工程の精密加工装置分野で独自の競争力を有しており、パワー半導体や先端パッケージング需要の拡大でさらなる成長が期待されています。

レーザーテック株式会社

半導体製造に用いるマスク（フォトマスク）の欠陥検査装置において世界トップシェアを誇ります。EUV（極端紫外線）露光向けマスク検査装置の分野では事実上の唯一のサプライヤーとして知られており、先端ロジック半導体の製造に不可欠な存在となっています。

メーカー一覧（五十音順）

以下に、国内の主要な半導体・電子デバイス製造装置メーカーを五十音順で一覧にまとめます。各社の主要製品カテゴリおよび公式サイトへのリンクを併記しています。

あ行

社名	主要製品・装置カテゴリ	公式サイト
株式会社アドバンテスト	半導体テスト装置（メモリ・SoC・ロジック向けテスタ）	advantest.com
アルバック株式会社	CVD装置、PVD装置、エッチング装置、真空技術関連装置	ulvac.co.jp
株式会社荏原製作所	CMP装置、ドライ真空ポンプ（装置周辺機器）	ebara.co.jp
株式会社岡本工作機械製作所	ウェーハ研削装置、研磨装置	okamoto-machine.com

か行

社名	主要製品・装置カテゴリ	公式サイト
キヤノン株式会社	半導体露光装置（ステッパー・スキャナー、ナノインプリントリソグラフィ）	canon.co.jp
キヤノンマーケティングジャパン株式会社	半導体・FPD製造装置の販売・サポート	canon.jp
株式会社光波	紫外線（UV）照射装置、光源装置	kohha.co.jp
コーデンシ株式会社	光センサ、光学デバイス関連製造装置・部品	kodenshi.co.jp

さ行

社名	主要製品・装置カテゴリ	公式サイト
SCREENホールディングス株式会社	ウェーハ洗浄装置、塗布・現像装置、熱処理装置	screen.co.jp
株式会社サムコ	CVD装置、エッチング装置、プラズマ処理装置	samco.co.jp
シンフォニアテクノロジー株式会社	ウェーハ搬送装置、FAシステム	sinfo-t.jp
株式会社スミダコーポレーション	コイル部品、電子部品関連製造装置・部材	sumida.com

た行

社名	主要製品・装置カテゴリ	公式サイト
東京エレクトロン株式会社（TEL）	エッチング装置、CVD装置、塗布・現像装置、洗浄装置、熱処理装置	tel.com
株式会社東京精密（ACCRETECH）	ウェーハプローバ、ダイシング装置、計測・検査装置	accretech.jp
株式会社ディスコ	ダイシング装置、研削装置、レーザー加工装置	disco.co.jp
大日本スクリーン製造株式会社（SCREENグループ）	FPD製造装置、印刷関連装置（SCREENホールディングス傘下）	screen.co.jp

な行

社名	主要製品・装置カテゴリ	公式サイト
株式会社ニコン	半導体露光装置（ArFスキャナー、ステッパー）	nikon.co.jp
日本電子株式会社（JEOL）	電子線描画装置、電子顕微鏡（SEM/TEM）、イオンビーム装置	jeol.co.jp
日立ハイテク株式会社	CD-SEM（寸法測定装置）、欠陥検査装置、電子顕微鏡	hitachi-hightech.com

は行

社名	主要製品・装置カテゴリ	公式サイト
浜松ホトニクス株式会社	光センサ・光源デバイス、半導体レーザー、光学計測装置	hamamatsu.com
株式会社日立製作所（半導体装置部門）	イオン注入装置、エッチング装置、成膜装置	hitachi.co.jp

ま行

社名	主要製品・装置カテゴリ	公式サイト
株式会社村田製作所	電子部品（積層セラミックコンデンサ等）関連製造装置・材料	murata.com
三菱電機株式会社（半導体装置関連）	パワー半導体関連製造装置、FA機器	mitsubishielectric.co.jp

や行・ら行・わ行

社名	主要製品・装置カテゴリ	公式サイト
ヤマハロボティクスホールディングス株式会社	マウンター（部品実装装置）、ディスペンサ、検査装置	yamaha-motor.co.jp
レーザーテック株式会社	フォトマスク欠陥検査装置、EUV対応マスク検査装置	lasertec.co.jp
株式会社リコー（産業向け装置部門）	レーザー加工装置、印刷・描画関連装置	ricoh.co.jp

装置カテゴリ別主な対応メーカー

製造装置の種類（カテゴリ）ごとに、主な国内対応メーカーを整理しました。装置選定や調査の際の参考としてご活用ください。

装置カテゴリ	主な国内メーカー
露光装置（リソグラフィ）	ニコン、キヤノン
CVD・ALD・成膜装置	東京エレクトロン、アルバック、サムコ
エッチング装置	東京エレクトロン、アルバック、サムコ
CMP装置	荏原製作所、岡本工作機械製作所
洗浄装置	SCREENホールディングス、東京エレクトロン
イオン注入装置	日立製作所（装置部門）
検査・計測装置	レーザーテック、日立ハイテク、日本電子（JEOL）、東京精密
テスト装置（テスタ）	アドバンテスト
ダイシング・研削装置	ディスコ、東京精密
搬送・ハンドリング装置	シンフォニアテクノロジー
電子線・イオンビーム装置	日本電子（JEOL）、日立ハイテク
熱処理装置	東京エレクトロン、SCREENホールディングス

よくある質問（FAQ）

Q. 日本の半導体製造装置メーカーは世界でどのくらいのシェアを持っていますか？

A. 経済産業省の資料によれば、世界の半導体製造装置市場における日本メーカーの合計シェアはおよそ30%とされています。特に洗浄装置・テスト装置・ダイシング装置・マスク検査装置などの分野では世界トップシェアを持つ企業が複数存在します。

Q. 半導体製造装置と半導体製造材料の違いは何ですか？

A. 半導体製造装置は、シリコンウェーハに回路を形成・検査・切断するための機械・設備を指します。一方、半導体製造材料（マテリアル）は、フォトレジスト・研磨材・ガス・ウェーハ素材など、製造プロセスで消耗・使用される原料・材料のことを指します。両者は異なるカテゴリですが、密接に関連しています。

Q. EUV露光装置はどの企業が製造していますか？

A. EUV（極端紫外線）露光装置は、現時点ではオランダのASML社が世界で唯一製造・販売しています。日本メーカーではニコン・キヤノンがArF液浸スキャナーを手がけていますが、EUV装置本体の製造は行っていません。ただし、EUV向けマスク検査装置の分野では、日本のレーザーテック株式会社が世界唯一のサプライヤーとして知られています。