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プロセス

プリント基板(PCB)の製造プロセス〜積層・穴あけ・めっきからSAP・mSAPまで

プリント基板の種類と材料、設計データの準備から内層の回路形成、積層、ドリル・レーザー穴あけ、デスミア、めっき、ソルダーレジスト、表面処理、検査、外形加工までの製造工程を解説します。SAP・mSAPによる微細配線と高多層化の課題もまとめました。
プロセス

FEOL・MEOL・BEOLとは〜前工程の3区分とコンタクト・多層配線・裏面電源供給

半導体の前工程を構成するFEOL・MEOL(MOL)・BEOLの役割と主な工程を解説します。トランジスタ構造のGAA・CFETへの変化、コンタクト抵抗と新しい金属、銅デュアルダマシン配線の課題とRu配線、裏面電源供給の量産導入もまとめました。
プロセス

チップレットとは〜2.5D・3D接続とハイブリッド接合、製造プロセスの流れ

チップレットの考え方と歩留まりが上がる理由、インターポーザやシリコンブリッジによる2.5D接続、ハイブリッド接合による3D積層、UCIeによる標準化を解説します。CoWoSなどの実装例、製造プロセスの流れ、国内の動きと関連企業もまとめました。
プロセス

シリコンフォトニクス〜原理・材料・製造プロセスとCPOパッケージング

シリコンフォトニクスの原理と材料、光信号の送受信と電気信号への変換を、製造プロセスの視点から解説します。GlobalFoundriesの45nm SOIやTSMCのCOUPE、CPOによるパッケージング、メモリへの応用と量産に向けた課題もまとめました。
プロセス

MEMS製造プロセス〜マイクロマシニング・DRIE・ウエハー接合と300mm化

MEMSの製造プロセスを、バルク・表面マイクロマシニング、犠牲層エッチング、DRIE(Boschプロセス)、ウエハー接合の順に解説します。300mmウエハーへの移行や圧電MEMSなどの最新動向、主な製品と量産に向けた課題もまとめました。
プロセス

インターポーザとは〜シリコン・有機RDL・ガラスとパネル化の動向

インターポーザの種類(シリコン、有機RDL、シリコンブリッジ、ガラス)と製造プロセスを整理し、レチクルサイズを超える大型化やウエハーからパネルへの移行、三菱マテリアルの角型シリコン基板、JOINT3やRapidusの取り組みまで解説します。
プロセス

電解銅めっきとは〜ダマシン・TSV・SAP・TGVの配線形成プロセス

電解銅めっきによる電極・配線形成を、原理と添加剤の働きから解説します。ダマシンやTSV、RDL、Cuピラーなどのウエハプロセス、SAP・MSAPやビア充填などのプリント基板プロセス、ガラスのTGVまで、用途別のサイズ感とあわせて整理しました。
ニュース

半導体ニュース 2026年10月のまとめ〜HBM4・GaN・ASML

2026年10月の半導体業界の動きを、マーケット・デバイス・プロセス・装置・材料の5分野でまとめました。SEMIの装置投資予測、HBM4の量産本格化、Infineonの300mm GaN、ASMLの決算、東京応化工業の新製造棟を取り上げます。
プロセス

FO-WLP/FO-PLPとは〜ファンアウトの工程と課題

FO-WLP/FO-PLPは、多ピンと小型・薄型を両立するファンアウト型パッケージで、スマートフォンのアプリケーションプロセッサなどに使われています。チップファーストとRDLファーストの工程の流れと、反りやダイシフトなどの量産課題を解説します。
装置構成部材

AMHSとは〜OHT・ストッカー・MCSによる装置間搬送の仕組み

AMHSは、搬送設備・保管設備・搬送管理設備を組み合わせた自動化システムの総称です。天井を走るOHT、工程間の一時保管を担うストッカー、MESと搬送設備をつなぐMCSの仕組みを解説し、AGVの位置づけや選定時の評価軸も紹介します。
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