プロセス 半導体製造プロセス〜前工程(FEOL, MEOL, BEOL) 半導体の製造工程は様々です。一般的にシリコンウエハでLSIを形成する製造工程を「前工程」、ダイシングからパッケージング、検査、出荷するまでの工程を「後工程」と呼んでいます。FEOL(フロントエンド)、BEOL(バックエンド)と呼ばれる工程が... 2020.02.27 プロセス