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半導体製造プロセス〜前工程(FEOL, MEOL, BEOL)

半導体の製造工程は様々です。一般的にシリコンウエハでLSIを形成する製造工程を「前工程」、ダイシングからパッケージング、検査、出荷するまでの工程を「後工程」と呼んでいます。FEOL(フロントエンド)、BEOL(バックエンド)と呼ばれる工程が...
2020.02.27
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