材料 スパッタリングターゲット〜前工程/パッケージング/パワー/ディスプレイ..高純度な配線/バリア層/電極の薄膜形成の必須材料 先端半導体前工程/パッケージング/パワー/ディスプレイ..高純度な配線/バリア層/電極の薄膜形成の必須材料 2025.02.01 材料
プロセス 半導体製造プロセス〜前工程（FEOL, MEOL, BEOL） 半導体の製造工程は様々です。一般的にシリコンウエハでLSIを形成する製造工程を「前工程」、ダイシングからパッケージング、検査、出荷するまでの工程を「後工程」と呼んでいます。FEOL（フロントエンド）、BEOL（バックエンド）と呼ばれる工程が... 2020.02.27 プロセス
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