海外の半導体装置、関連機器メーカー
海外の主な半導体装置、機器メーカーをまとめました。
| 企業名 | 主な製品 |
| AIXTRON | SiC, GaN向けMOCVD |
| ASM | ALD, LP-CVD, エピタキシャル, PE-CVD |
| ASML | EUV, 深紫外, ArF,KrF, i線 露光装置 |
| Applied Materials | PVD, PE-CVD, エピタキシャル, DRIE, ECD他 |
| Axcelis | イオン注入装置 |
| Beneq | ALD装置 |
| Bronkhorst High-Tech | マスフローコントローラ |
| ClassOne Technology | めっき装置 |
| ECI Technology | 自動めっき液濃度分析装置 |
| Edwards | 真空ポンプ, ガス濃度分析器, 排ガス処理装置 |
| Entegris | ガス、液体の濾過、精製フィルターなど流体管理 |
| Evatec | 蒸着, PVD, RIE, PE-CVD |
| Forge Nano | ALD装置 |
| FormFactor | 検査装置 |
| Heidelberg Instruments | 露光装置、マスクレスアライナ |
| Lam Research | ALD, CVD, HDP-CVD, PE-CVD, ECD, UVTP, DRIE, ALE, RIE, BEVELクリーニング, ウェットエッチング他 |
| Levitronics | 薬液用無摺動ポンプ |
| KLA | ウエハ, レチクル, パッケージング他各種検査装置 |
| Picosun (AMTによりに買収) | ALD装置 |
| Plasma Therm | ICE, RIE, PE-CVD, HDP-CVD他 |
| Teradyne | デジタル, ミクストシグナル, パワー, イメージセンサ, メモリ, RF等の検査装置 |
| SEMES | 洗浄, エッチング, 露光, 検査, パッケージング |
| SEMSYSCO | ECD |
| SHELLBACK | SEMITOOL, VARIAN,AMT P5000 |
| SUSS MicroTec | コータデベロッパ, マスクアライナ, ウエハボンダ, フォトマスク他 |
| VAT | 真空バルブ |
| Veeco | レーザー加工, 露光, イオンビーム, MOCVD, 洗浄, ALD,PVD, ダイシング, ラッピング, ガス供給 |
| West Bond | ワイヤボンディング装置 |
| White Knight Fluid Handling | 薬液ポンプ |
