海外の主な半導体装置、機器メーカーをまとめました。
半導体産業における主要な海外装置・機器メーカーの一覧と、各社の主力製品を紹介します。この記事では、EUV露光装置から真空装置、ウェット装置、検査装置まで、半導体製造プロセスの各段階で使用される多様な装置を提供する企業を網羅的に取り上げています。
世界的に有名な大手メーカーから、特定分野に特化した専門メーカーまで、グローバルな半導体エコシステムを支える重要な企業群を一覧で確認できます。今後、随時アップデートしていきます。
| 企業名 | 主な製品 |
| ACM Research | ウェット装置、めっき装置、CVD、ALD装置、CMP装置 |
| AIXTRON | SiC, GaN向けMOCVD |
| ASM | ALD, LP-CVD, エピタキシャル, PE-CVD |
| ASM Pacific Technology | ボンダー、SMT、レーザーダイシング、めっき装置（NEXX） |
| ASML | EUV, 深紫外, ArF,KrF, i線 露光装置 |
| Applied Materials | PVD, PE-CVD, エピタキシャル, DRIE, ECD他 |
| Axcelis | イオン注入装置 |
| Beneq | ALD装置 |
| Bronkhorst High-Tech | マスフローコントローラ |
| ClassOne Technology | めっき装置 |
| Zeiss Group | 露光装置向け光学レンズ機器 |
| ECI Technology | 自動めっき液濃度分析装置 |
| Edwards | 真空ポンプ, ガス濃度分析器, 排ガス処理装置 |
| Entegris | ガス、液体の濾過、精製フィルターなど流体管理 |
| Evatec | 蒸着, PVD, RIE, PE-CVD |
| EV Group | リソグラフィ、接合、ナノインプリント、検査計測装置 |
| Forge Nano | ALD装置 |
| FormFactor | 検査装置 |
| Heidelberg Instruments | 露光装置、マスクレスアライナ |
| K&B Industries | ウエハ製造装置用の超高真空機械加工部品 |
| KLA | ウエハ, レチクル, パッケージング他各種検査装置 |
| Lam Research | ALD, CVD, HDP-CVD, PE-CVD, ECD, UVTP, DRIE, ALE, RIE, BEVELクリーニング, ウェットエッチング他 |
| Levitronics | 薬液用無摺動ポンプ |
| Nova | 光学計測装置、めっき液分析装置（Ancosys） |
| Onto Innovation | 検査・解析装置 |
| Picosun (AMTによりに買収) | ALD装置 |
| Plasma Therm | ICE, RIE, PE-CVD, HDP-CVD他 |
| Teradyne | デジタル, ミクストシグナル, パワー, イメージセンサ, メモリ, RF等の検査装置 |
| SEMES | 洗浄, エッチング, 露光, 検査, パッケージング |
| SEMSYSCO | ECD |
| SHELLBACK | SEMITOOL, VARIAN,AMT P5000 |
| SUSS MicroTec | コータデベロッパ, マスクアライナ, ウエハボンダ, フォトマスク他 |
| VAT | 真空バルブ |
| Veeco | レーザー加工, 露光, イオンビーム, MOCVD, 洗浄, ALD,PVD, ダイシング, ラッピング, ガス供給 |
| West Bond | ワイヤボンディング装置 |
| White Knight Fluid Handling | 薬液ポンプ |
