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半導体製造プロセス:前工程のFEOL・MEOL・BEOLとは何か?役割と違いを解説

半導体の製造工程は大きく2つに分類されます。シリコンウエハ上にLSIを形成する「前工程」と、ダイシングからパッケージング・検査・出荷までを担う「後工程」です。前工程はさらに、FEOL(フロントエンド・オブ・ライン)とBEOL(バックエンド・...
2020.02.27
プロセス
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