イオン注入装置

イオン注入装置は、イオン・インプランテーション（インプラ）とも呼ばれ、現代の半導体製造において欠かせない先端技術です。本記事では、イオン注入装置の基本的な仕組みから、市場規模、種類と用途、そして主要な製造メーカーについて記載します。半導体技...