政府・大学の研究開発拠点

政府大学の研究開発拠点

産業技術総合研究所　エレクトロニクス・製造領域
東北大学　試作コインランドリ　μＳＩＣ
東北大学　三次元スーパーチップＬＳＩ試作製造拠点ＧＩＮＴＩ
三次元半導体研究センター
微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム
物質・材料研究機構
TIA