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半導体製造において、熱処理装置は製品の品質と性能を左右する重要な役割を果たしています。本記事では、ウエハプロセスで使用される酸化装置、拡散装置、アニール装置に焦点を当て、これらの装置の基本概念から最新の市場動向、主要な用途、そして業界をリー...